超純水規格GB/T11446.1-1997

超純水規格GB/T11446.1-1997

中國國家電子級超純水規格 GB/T11446.1-1997 電阻率25℃MΩ*cm硅≤μg/L銅≤μg/L鋅≤μg/L鎳≤μg/L鈉≤μg/L鉀≤μg/L氯≤μg/L>1μm顆?！軅€/ml細菌≤個/ml硝酸根≤g/L磷酸根≤μg/L硫酸根≤μg/LTOC≤μg/LEW-I≥18*20.20.20.10.50.510.10.0111120EW-II≥15 **1000122150.1111100

注*（95％時間不低于17），**（95％ 時間不低于13）

中國國家電子級超純水GB/TII446.1－1997標準

指標\級別 EW－Ⅰ EW－ⅡEW－Ⅲ EW-Ⅳ電阻率 MΩ，cm(25℃)18以上，（95％時間）不低于1715，（95％時間）不低于13 12.0   0.5   全硅，較大值,μg/L210501000＞1μm微粒數，較大值，個/mL0.1510500 細菌個數，較大值，個/mL0.010.110100 銅，較大值，μg/L0.212500 鋅，較大值，μg/L0.215500 鎳，較大值，μg/L0.112500 鈉，較大值，μg/L0.5251000 鉀，較大值，μg/L0.525500 氯，較大值，μg/L11101000 硝酸根，較大值，μg/L115500 磷酸根，較大值，μg/L115500 硫酸根，較大值，μg/L115500 總有機酸，較大值，μg/L201002001000